當(dāng)半導(dǎo)體專(zhuān)用氫氣發(fā)生器出現(xiàn)故障需要維修時(shí)，可以按照以下步驟進(jìn)行處理：
 

　　1.首先，與專(zhuān)業(yè)維修人員進(jìn)行聯(lián)系，向他們?cè)敿?xì)描述故障情況，并詢(xún)問(wèn)是否需要將設(shè)備送修或提供遠(yuǎn)程支持。
 

　　2.根據(jù)使用頻率，及時(shí)更換變色硅膠和其他過(guò)濾材料。一般來(lái)說(shuō)，變色硅膠每3-6個(gè)月更換一次，其他過(guò)濾材料每?jī)扇齻€(gè)月更換一次。
 

　　3.在使用高純氫氣發(fā)生器的過(guò)程中，注意檢查儀器外部連接件是否漏氣。確保氣體的流量和壓力穩(wěn)定，以保證設(shè)備的正常運(yùn)行。
 

　　4.在更換過(guò)濾材料時(shí)，要仔細(xì)檢查過(guò)濾器蓋和底座部分是否擰緊。確保密封良好，防止氣體泄漏。
 

　　5.在更換電解液時(shí)，要注意不要將電解液灑到儀器上，以防止腐蝕?？梢允褂枚握麴s水或去離子水來(lái)補(bǔ)充新配置的電解液，但不要超過(guò)上水位線。同時(shí)，每隔兩三個(gè)月的時(shí)間，將電解液從電解池中倒出，重新配比電解液，一般為15%的KOH溶液。
 

 

　　如果半導(dǎo)體專(zhuān)用氫氣發(fā)生器出現(xiàn)不能啟動(dòng)或產(chǎn)氫達(dá)不到預(yù)定壓力的情況，可以按照以下方法進(jìn)行處理：
 

　　1.不能啟動(dòng)的解決方案：
 

　　故障原因可能是電路沒(méi)有接通、氫氣開(kāi)關(guān)電源損壞或在壓力為0空載運(yùn)行時(shí)電解池?zé)龎摹?br /> 

　　檢查方法可以是檢查電路是否正常、用萬(wàn)用表測(cè)量電解池的電壓是否在2.3V左右。
 

　　排除方法可以是修理電源、更換損壞的氫氣開(kāi)關(guān)電源或更換電解池。
 

　　2.產(chǎn)氫達(dá)不到預(yù)定壓力的解決方案：
 

　　故障原因可能是氣路系統(tǒng)漏氣、過(guò)濾器或過(guò)濾器上蓋沒(méi)有擰緊或氫氣電解池反漏。
 

　　檢查方法可以是使用檢漏液檢測(cè)各氣路連接處是否有漏氣現(xiàn)象。
 

　　排除方法可以是更換漏氣元件、擰緊漏氣點(diǎn)或向廠家申請(qǐng)更換電解池。